http://ir-heat-ace.com/ko/tags/%EC%97%AC%EB%B6%84%EC%9D%98-%EC%98%88%EB%B9%84%EC%9D%98/ Recent content in 여분의; 예비의 on Premium Infrared Heat Ace Hugo ko Sun, 21 Jun 2026 06:44:29 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/semiconductor-machinery-spare-parts-heater/ Sun, 21 Jun 2026 06:44:29 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/semiconductor-machinery-spare-parts-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="반도체 장비용 예비 부품 히터"></p> <p>팹 현장에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정에서 0.5°C만의 온도 변동이 있어도 회로선의 굵기가 제대로 유지되지 않아 많은 양의 웨이퍼가 폐기되게 됩니다. 온도는 단순한 변수가 아니라, 공정 자체입니다. 그래서 우리는 반도체 장비용 부품인 히터를 이러한 현실을 고려하여 설계합니다. 이를 통해 소프트 베이크, 하드 베이크, 그리고 안정화 단계에서도 웨이퍼 전체의 온도를 ±0.1°C 이내로 일정하게 유지할 수 있습니다.</p>