http://ir-heat-ace.com/ko/tags/%EC%8A%A4%ED%8D%BC%ED%84%B0%EB%A7%81/ Recent content in 스퍼터링 on Premium Infrared Heat Ace Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 13:05:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Tue, 30 Jun 2026 13:05:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/ko/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="반도체 스퍼터링 히터"></p> <p>반도체 생산 공정에서 열 변동은 단순한 편차가 아니라, 제품의 품질을 떨어뜨리는 요인입니다. 스퍼터링 챔버의 위치가 조금이라도 벗어나면 필름에 스트레스가 가해지고 두께가 균일하지 않게 됩니다. 이러한 문제는 리소그래피 및 에칭 공정에도 영향을 미칩니다. 우리는 이러한 불확실성을 없애기 위해 적외선 스퍼터링 히터를 개발했습니다. 이를 통해 웨이퍼 표면에서의 증착 안정성을 확보할 수 있습니다.</p>