http://ir-heat-ace.com/ja/tags/%E6%B2%BB%E7%99%92/ Recent content in 治癒 on Premium Infrared Heat Ace Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 00:38:44 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:38:44 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="フォトレジスト硬化用赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、わずかなバイアスも許されません。たとえ半度程度のばらつきがあっても、フォトレジストの形状が崩れてしまい、CDの精度を維持するのが難しくなります。一方、過度な加熱を行うと、エッジ部分に不純物が付着したり、接着力が低下したりしてしまいます。これらの問題は、修正が困難なほど遅くに現れます。必要なのは、<a href="https://goldisgood.com">素早</a>く熱を与え、正確に望む場所に留め、繰り返し安定して作用するような<a href="https://o-yate.net">加熱装置</a>です。</p>