http://ir-heat-ace.com/ja/tags/%E6%9C%80%E9%AB%98/ Recent content in 最高 on Premium Infrared Heat Ace Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="感光性樹脂用の最適な赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる熱処理ではなく、寸法管理の工程である。ソフトベークの温度が1℃ずれるだけで、クリティカルディメンションの制御やサイドウォールプロファイルに影響が表れる。当社はこの現実を踏まえ、フォトレジスト用赤外線ランプを設計し、ウェハレベルで±0.1℃の熱均一性と、ロット全体で再現<a href="https://goldisgood.com">可能</a>なベークプロファイルを目指している。</p>