http://ir-heat-ace.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%A9%E3%83%A1%E3%83%B3%E3%83%88/ Recent content in フィラメント on Premium Infrared Heat Ace Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 09:26:17 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/replacement-filament-for-fab-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 09:26:17 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/replacement-filament-for-fab-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ファブランプ用交換フィラメント"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストのベイク処理の際に、リソグラフィーサイクル全体の熱的条件が決定されます。もしランプの性能が低下し始めると、ソフトベイクやハードベイク時の温度が不安定になり、数分以内にそのことが分かります。CDのずれが生じ、スカムが発生し、結果として歩留まりが悪化します。私たちは、シフトごとにこの熱的安定性を<a href="https://henruite.com">維持</a>するための代替フィラメントを開発しました。</p>