http://ir-heat-ace.com/ja/tags/%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in スパッタリング on Premium Infrared Heat Ace Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 13:05:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Tue, 30 Jun 2026 13:05:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="半導体スパッタリングヒーター"></p> <p>ファブの現場では、温度の変動は単なる偏差というだけでなく、製品の品質を低下させる要因となります。スパッタリングチャンバーの位置が少しでもずれてしまうと、薄膜に応力が生じ、厚みに不均一性が生じます。これは直接、リソグラフィーやエッチングの工程に影響を与えます。私たちは、このような不確実性を排除するために、赤外線ヒーターを開発しました。これにより、ウェハ表面での成膜の安定性が確保されます。</p>