http://ir-heat-ace.com/ja/tags/%E3%82%AA%E3%83%BC%E3%83%96%E3%83%B3/ Recent content in オーブン on Premium Infrared Heat Ace Hugo ja Wed, 29 Jul 2026 10:31:09 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-clean-room-infrared-heaters/ Wed, 29 Jul 2026 10:31:09 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-clean-room-infrared-heaters/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター"></p> <h1 id="破片の発生を防ぐirヒーターが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法">破片の発生を防ぐ：IRヒーターが故障したときにウェーハをきれいに保つ方法</h1> <p>大量生産を行う半導体工場では、インフラレッドランプが破損することは、単なる「メンテナンス上の問題」以上の深刻な問題です。それはまさに悪夢そのものです。<br> 石英管が破損すると、ウェーハの表面には微細なガラス片や金属片が飛び散ります。そうなってしまうと、そのロットのウェーハは廃棄処分になってしまいます。私たちは、このような事態を防ぐ方法をずっと研究してきました。</p>