http://ir-heat-ace.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウエハー on プレミアム 赤外線熱 エース Hugo ja Wed, 09 Sep 2026 14:04:02 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/managing-thermal-radiation-and-safety-distances-in-wafer-heating-systems/ Wed, 09 Sep 2026 14:04:02 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/managing-thermal-radiation-and-safety-distances-in-wafer-heating-systems/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハ加熱システムにおける熱放射と安全距離の管理"></p> <h1 id="機械を壊さずにウェーハを加熱する方法より優れた加熱手段">機械を壊さずにウェーハを加熱する方法：より優れた加熱手段</h1> <p>半導体の製造においては、ウェーハを適切な温度に保つ必要がありますが、同時に高価な機器が溶けてしまうことも避けなければなりません。 一般的なヒーターは、あらゆる方向に熱を放出します。これでは問題です。その「無駄な熱」がチャンバーの壁に吸収され、装置が危険なほど高温になります。さらに悪いことに、内部の精密な部品が変形してしまいます。理想的ではありません。</p>