http://ir-heat-ace.com/ja/tags/%E3%82%92%E9%80%9A%E3%81%98%E3%81%A6/ Recent content in を通じて on Premium Infrared Heat Ace Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 06:22:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ Tue, 02 Jun 2026 06:22:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/ja/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="TSV スルーシリコンビア ヒーター"></p> <p>300mmラインでのTSV積層は、熱の均一性がわずかにでもずれ始めると崩壊する。フォトレジストのベーク時に1℃の偏差があれば、ビアのプロファイルが狂い、熱サイクルによるパーティクルの発生はロット全体を破壊する可能性がある。この不確実性を排除するためにTSVヒーターを開発した。</p>