Introduzione Non avevamo come obiettivo quello di creare semplicemente “un’altra lampada”. Abbiamo progettato questo sostituto per Mattson RTP...

Scaldatori ad ossigeno di alta precisione: il segreto per mantenere una stabilità di 0,1°C nelle fabbriche di wafere Abbiamo progettato questi...

Nella fase di essiccazione del fotorest, si stabilisce il “budget termico” necessario per l’intero ciclo di litografia. Se la lampada inizia a...

Nelle linee di produzione, le fluttuazioni termiche non rappresentano semplicemente delle deviazioni dal valore ideale: rappresentano invece un...

Nelle linee di produzione, anche un leggero disallineamento di mezzo grado durante il processo di cottura può compromettere il controllo delle...

Sul pavimento in litografia, non si può permettere alcuna variazione nella temperatura. Anche una piccola variazione di mezzo grado può compromettere...

Nelle linee di produzione, una variazione di temperatura di 0,5°C durante il processo di essiccazione del fotorest è sufficiente per compromettere la...

Nelle officine di produzione, la riparazione degli strumenti non è un’attività pianificata in anticipo: si tratta piuttosto di una situazione di...

Out on the lithography floor, you know how it goes. A soft bake that’s off by even a fraction of a degree can show up as linewidth variation—and...

Sulla linea da 300mm, l’impilamento TSV si compromette non appena l’uniformità termica inizia a deviare. Un’escursione di un solo grado Celsius...

Sulla linea di litografia, la cottura del photoresist non è solo un passaggio termico, ma anche dimensionale. Una variazione di 1°C nella soft bake...