Berhentilah menunggu oven Anda berfungsi dengan baik: Mengapa lampu inframerah tipe UHP benar-benar efektif
Selama ini, kita menganggap bahwa proses pemanasan wafer membutuhkan sirkulasi udara panas. Namun, masalahnya adalah proses konveksi berlangsung sangat lambat. Anda harus menunggu hingga udara menjadi panas, lalu menunggu lagi agar udara tersebut dapat memanaskan wafer. Proses ini membuang banyak waktu.
Itulah sebabnya kami beralih ke lampu inframerah tipe Ultra High Purity (UHP). Alih-alih menggunakan udara sebagai media pemanas, kita bisa menghindari proses konveksi tersebut. Yang penting adalah pemanasan langsung.
Bayangkan saja seperti sinar matahari yang menyinari kulit Anda di hari yang dingin. Anda tidak perlu menunggu seluruh atmosfer menjadi panas untuk merasakan kehangatan; radiasi matahari langsung menyentuh kulit Anda. Begitu pula halnya dengan lampu UHP. Sementara oven konveksi membutuhkan waktu beberapa menit untuk mencapai suhu yang diinginkan, lampu UHP hanya membutuhkan beberapa detik saja. Jika Anda ingin memproses lebih banyak wafer, waktu yang dihemat akan sangat signifikan.
Namun, Anda tidak boleh sembarangan memilih lampu yang digunakan. Dalam dunia ini, “pengeluaran gas” merupakan masalah serius. Sedikit saja kontaminasi logam dapat merusak silikon yang digunakan. Untuk menghindari hal ini, kami menggunakan kapsul kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Kami juga memperhatikan filamen lampu dengan sangat seksama. Jika daya lampu tidak tepat, akan terjadi titik-titik panas, dan titik-titik panas tersebut akan merusak komponen-komponen mesin.
Memang ada keseimbangan yang perlu diperhatikan. Tentu saja, daya yang lebih tinggi berarti pemanasan yang lebih cepat. Namun, jika Anda memaksakan penggunaan daya yang terlalu tinggi tanpa kontrol yang tepat, Anda akan menghadapi masalah. Bisa jadi tabung kuarsa akan retak atau substratnya akan rusak. Ini merupakan tantangan dalam menyeimbangkan kecepatan pemanasan dan tekanan yang dihasilkan.
Realitas perubahan dari penggunaan oven konveksi ke lampu inframerah.
Jika Anda berpikir untuk beralih dari oven konveksi ke lampu inframerah, ingatlah bahwa ini bukan proses yang mudah. Anda perlu menyesuaikan pengaturan PID-nya. Karena lampu inframerah bereaksi secara instan, pengaturannya harus dilakukan dengan sangat hati-hati. Jika tidak hati-hati, suhu akan melebihi batas yang diinginkan sebelum sistem menyadari bahwa sedang terjadi pemanasan.
Jangan lupa juga soal sistem pendinginan. Tidak semua panas yang dihasilkan lampu inframerah sampai ke wafer. Sebagian dari panas tersebut dipantulkan kembali. Jika sistem pendinginan tidak berfungsi dengan baik, komponen mesin sendiri yang akan rusak.
Memang diperlukan sedikit penyesuaian, tetapi setelah semuanya disesuaikan dengan baik, pengalaman pemrosesan wafer akan jauh lebih baik.