Penggantian lampu Mattson RTP
Pendahuluan
Sebenarnya, kami tidak bermaksud membuat “lampu lagi”. Kami menciptakan Mattson RTP ini agar bisa bersaing dengan produk-produk...
Pabrik perdagangan pemanas industri internasional
Pemanas Halogen Berkualitas Tinggi: Rahasia untuk Mencapai Stabilitas Suhu 0,1°C di Pabrik Wafer
Kami menciptakan pemanas halogen ini untuk digunakan...
Filamen pengganti untuk lampu fab
Di area produksi, proses pemanasan fotoresist merupakan langkah penting untuk menentukan parameter termal yang digunakan dalam seluruh siklus...
Pemanas semikonduktor tipe sputtering
Di lantai produksi, fluktuasi suhu bukan sekadar penyimpangan biasa—hal tersebut justru merusak kualitas produk yang dihasilkan. Chamber sputtering...
Masa depan teknologi pemanasan berbasis semikonduktor
Di lantai produksi, perbedaan suhu sebesar setengah derajat saja sudah cukup untuk mengganggu proses kontrol dimensi kritis wafer, sehingga wafer...
Lampu inframerah untuk proses pengeringan photoresist
Di permukaan litografis, Anda tidak boleh membiarkan terjadi penyimpangan suhu. Jika suhu berubah sebanyak setengah derajat saja, hal tersebut akan...
Suku cadang pemanas untuk mesin semikonduktor
Di fasilitas pembuatan semikonduktor, perubahan suhu sebesar 0,5°C selama proses pemanasan fotoresist sudah cukup untuk mengganggu ketepatan lebar...
Pemanas inframerah untuk perbaikan alat di pabrik
Di pabrik penghasil alat-alat tersebut, perbaikan alat bukanlah hal yang direncanakan sebelumnya; melainkan harus dilakukan secara darurat. Ketika...
Lampu pemanas TEL (Tokyo Electron)
Out on the lithography floor, you know how it goes. A soft bake that’s off by even a fraction of a degree can show up as linewidth variation—and...
Pemanas TSV (Through Silicon Via)
Out on the 300mm line, penumpukan TSV gagal saat keseragaman termal mulai bergeser. Penyimpangan suhu sebesar satu derajat Celsius selama proses...
Lampu inframerah terbaik untuk fotoresist
Di lantai litografi, pemanggangan photoresist bukan sekadar langkah termal—melainkan langkah dimensional. Pergeseran 1°C pada soft bake akan terlihat...