MEMS वेफरों को बिना नष्ट किए सूखाना
MEMS सेंसर वेफरों को सूखाना एक कठिन कार्य है। पानी को जल्दी से हटाना आवश्यक है, लेकिन अगर जरूरत से अधिक दबाव डाला गया, तो उन नाजुक सूक्ष्म संरचनाओं को नुकसान पहुँच सकता है।
इस समस्या का समाधान खोजने हेतु, हम इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग करते हैं; इन हीटरों में सोने से बने रिफ्लेक्टर भी होते हैं। उद्देश्य बहुत ही सरल है – ऊर्जा की बर्बादी रोकना, एवं यह सुनिश्चित करना कि हर फोटॉन वेफर तक पहुँचे।
सोने का उपयोग क्यों?
अधिकांश लोग एल्यूमीनियम रिफ्लेक्टरों का ही उपयोग करते हैं, लेकिन एल्यूमीनियम इन्फ्रारेड ऊर्जा को अवशोषित कर लेता है। हम उच्च शुद्धता वाले सोने का ही उपयोग करते हैं; क्योंकि यह निकट-इन्फ्रारेड प्रकाश को वापस भेजने में बहुत ही प्रभावी है।
लेकिन यह केवल प्रकाश को परावर्तित करने का ही कार्य नहीं है… सोने की परत को सटीक पैराबोलिक आकृति के साथ जोड़कर, हम ऊर्जा को वेफर पर केंद्रित कर सकते हैं। ऐसा करने से लैंपों पर अधिक वोल्टेज डालने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती… यह तो बेहतर ही है।
ऊर्जा एवं गर्मी का संतुलन
इन उपकरणों को सेट करते समय, गति एवं सुरक्षा के बीच संतुलन बनाना आवश्यक है।
हाँ, उच्च वॉटेज वाले लैंप बड़ी मात्रा में उत्पादन के लिए उपयोगी हैं… लेकिन वे बहुत ही अधिक गर्मी उत्पन्न करते हैं। यदि चेसिस का शीतलन ठीक से न हो, तो वह गर्मी वेफर पर ही रह जाती है… इससे वेफर क्षतिग्रस्त हो सकता है। यह तो बहुत ही बड़ी समस्या है।
उपकरणों को लगातार कार्यरत रखना
हमने ऐसे उपकरण बनाए हैं, जिन्हें आसानी से बदला जा सके… कोई भी व्यक्ति घंटों तक उत्पादन प्रक्रिया को रोकना नहीं चाहेगा।
रिफ्लेक्टर, लैंप की धुरी के साथ बिल्कुल सही तरीके से संरेखित होते हैं… इससे वेफर पर कोई “कोल्ड स्पॉट” नहीं बनता। लेकिन ध्यान रखें – सोना बहुत ही संवेदनशील है… यदि फैक्ट्री में अधिक मात्रा में अपघटक वाष्प हों, तो उन कोटिंगों को नुकसान पहुँच सकता है।
ऐसी स्थिति में उन कोटिंगों की रक्षा करना आवश्यक है… एवं सफाई करते समय भी सावधान रहना आवश्यक है… सही घोलों का ही उपयोग करें… गलत तरीके से सफाई करने से वेफर की सतह क्षतिग्रस्त हो सकती है… ऐसा होने पर उपकरणों की दक्षता भी कम हो जाती है।