על גבי המשטח האבן, אי אפשר להרשות לעצמו שינויים בטמפרטורה. עלייה קלה בטמפרטורה, אפילו בחצי מעלה, יכולה לפגוע באיכות התהליך. אם הטמפרטורה עולה באופן...

בקומת הליתוגרפיה, אפיית הפוטורזיסט אינה רק שלב תרמי – היא שלב מימדי. סטייה של 1°C באפיית הרכות תתבטא בבקרת המידות הקריטיות ובפרופיל הדופן הצדדית....