חיממן אינפרא אדום תואם לשימוש בוואקום
צמצום פליטות הפחמן בחדרי הניקיון הגבוהה: מדוע חימום באמצעות אינפרא-אדום יעיל באמת בואו נהיה כנים: ייצור של שבבים הוא תהליך שצורך הרבה אנרגיה. כדי...
נורה לחימום של טוקיו אלקטרון (TEL)
בחדר הליתוגרפיה, אתם יודעים איך זה עובד. אפייה רכה שמתרחקת אפילו בשבריר מעלות יכולה להראות כשינוי רוחב קו - וזה ייצור שיוצא החוצה. אתם צריכים חום...
מחמם TSV (דרך סיליקון ויה)
Out on the 300mm line, TSV stacking falls apart the moment thermal uniformity starts to drift. A single degree Celsius of excursion during the...