חוט החלפה לנורת Fab

בחדר הייצור, תהליך אפיית הפוטורזיסט הוא השלב שבו קובעים את הערכי החום הדרושים לכל מחזור הליתוגרפיה. אם הנורה מתחילה לתפקד באופן לא אופטימלי,...