הקדמה העובדה היא שלא התכוונו פשוט ליצור “עוד” מנורה. יצרנו את מנורת Mattson RTP הזו כדי שהיא תוכל להתחרות במנורות המובילות בשוק. בסופו של דבר, הכל...

מחממי הלוגן בעלי דיוק גבוה: הסוד לשמירה על יציבות של 0.1°C במפעלי ייצור שבבים יצרנו את מחממי ההלוגן האלה עבור העולם האמיתי של החימום התעשייתי –...

בחדר הייצור, תהליך אפיית הפוטורזיסט הוא השלב שבו קובעים את הערכי החום הדרושים לכל מחזור הליתוגרפיה. אם הנורה מתחילה לתפקד באופן לא אופטימלי,...

בחדרי הייצור, סטיות תרמיות אינן רק בעיות של דיוק – הן גם גורמות לירידה באיכות המוצר. תא ספטרינג שמסטה אפילו במעט מהמסלול הנכון יוצר לחץ על השכבה...

בקו הייצור, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום יכול לגרום לחוסר בשליטה על הממדים החיוניים של הוופרים, ולכן הוופרים עלולים להיהרס. בתהליכי ליתוגרפיה...

על גבי המשטח האבן, אי אפשר להרשות לעצמו שינויים בטמפרטורה. עלייה קלה בטמפרטורה, אפילו בחצי מעלה, יכולה לפגוע באיכות התהליך. אם הטמפרטורה עולה באופן...

בחדר הייצור, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט עלול לגרום לשינויים ברוחב הקווים ולהרס גדול של המוצרים. הטמפרטורה אינה רק...

בחדרי הייצור, תיקון כלים אינו חלק מהתוכנית השגרתית – זו משימה דחופה. כאשר מתקלקל מכשיר לציפוי/העברת חומרים, מודול לחימום או ראש החיבור, כל דקה של...

בחדר הליתוגרפיה, אתם יודעים איך זה עובד. אפייה רכה שמתרחקת אפילו בשבריר מעלות יכולה להראות כשינוי רוחב קו - וזה ייצור שיוצא החוצה. אתם צריכים חום...

Out on the 300mm line, TSV stacking falls apart the moment thermal uniformity starts to drift. A single degree Celsius of excursion during the...

בקומת הליתוגרפיה, אפיית הפוטורזיסט אינה רק שלב תרמי – היא שלב מימדי. סטייה של 1°C באפיית הרכות תתבטא בבקרת המידות הקריטיות ובפרופיל הדופן הצדדית....