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		<title>TSV on Premium Infrared Heat Ace</title>
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				<title>Chauffage TSV (traversant en silicium)</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heat-ace.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png&#34; alt=&#34;Chauffage TSV (traversant en silicium)&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Sur la ligne 300 mm, l’empilement TSV se dégrade dès que l’uniformité thermique commence à dériver. Une excursion d’un seul degré &lt;a href=&#34;https://o-yate.net&#34;&gt;Celsius&lt;/a&gt; pendant la cuisson du photoresist va fausser le profil du via, et l’éclatement de particules dû au &lt;a href=&#34;https://o-yate.com&#34;&gt;cycle&lt;/a&gt; thermique peut compromettre toute la série. Nous avons conçu le chauffage TSV pour éliminer cette incertitude.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;Ce qui le fait fonctionner, techniquement&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;Nous utilisons un élément infrarouge à ondes courtes avec une architecture thermique à base de quartz, ce qui assure un couplage rapide et direct de la chaleur — sans points chauds. Sur toute la surface de la plaquette, l’uniformité en régime permanent reste dans ±0,1°C, et la répétabilité de cuisson à cuisson est maintenue à ±0,05°C. Les taux de montée en température atteignent 10°C/s avec un dépassement contrôlé, ce qui pré&lt;a href=&#34;https://goldisgood.com&#34;&gt;serve&lt;/a&gt; le budget thermique des diélectriques empilés.&lt;/p&gt;</description>
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