Lampe chauffante TEL (Tokyo Electron)

Mon, 08 Jun 2026 05:22:51 +0800

Sur le terrain de la lithographie

Vous savez comment cela se passe. Un préchauffage qui est décalé même d’une fraction de degré peut se traduire par une variation de la largeur de ligne—et cela représente du rendement qui s’échappe. Vous avez besoin d’une chaleur qui respecte exactement les spécifications de la carte de processus, à chaque cycle. Les lampes de chauffage TEL sont conçues pour offrir cette constance.

Ce qui compte en interne

Nous avons construit la lampe autour d’un infrarouge à ondes courtes, utilisant un élément halogène à l’intérieur d’une enveloppe en quartz. Cela vous donne un transfert d’énergie rapide et directionnel. Le résultat est un champ thermique sub-millimétrique qui atteint l’uniformité au niveau des wafers dans des tolérances strictes, et une répétabilité qui maintient les profils de cuisson du photoresist stables, cycle après cycle.
Le contrôle de température est suffisamment rigoureux pour protéger le budget thermique sur des nœuds avancés, et le temps de réponse suit le rythme des séquences à haut débit. La compatibilité avec la salle blanche n’est pas non plus une réflexion après coup—les matériaux et la construction minimisent la génération de particules et stabilisent la sortie, même lorsque vous fonctionnez 24/7.

(Tokyo on Premium Infrared Heat Ace

Lampe chauffante TEL (Tokyo Electron)

Sur le terrain de la lithographie

Ce qui compte en interne