Introduction En réalité, nous n’avons pas cherché à créer simplement une autre lampe. Nous avons conçu ce remplacement pour Mattson RTP afin qu’il...

Chauffeurs halogènes de précision : le secret pour atteindre une stabilité de 0,1 °C dans les usines de fabrication de wafers Nous avons conçu ces...

Sur le site de production, c’est lors du processus de cuisson du photorésistant que l’on définit le budget thermique pour l’ensemble du cycle de...

Sur le site de production, les écarts thermiques ne sont pas simplement des déviations : ils entraînent une baisse de la qualité du produit fini. Une...

Sur le poste de fabrication, un écart de demi-degré dans la température de cuisson suffit pour perturber le contrôle des dimensions critiques des...

Sur un sol en lithographie, on ne peut se permettre aucune variation. Même une légère déviation de demi-degré peut perturber le profil du...

Sur le plan de fabrication, une variation de température de 0,5 °C pendant le séchage du photorésiste suffit pour perturber les largeurs des lignes...

Sur le site de fabrication, la réparation des outils n’est pas planifiée à l’avance : c’est une urgence. Lorsqu’un dispositif de revêtement, un...

Sur le terrain de la lithographie Vous savez comment cela se passe. Un préchauffage qui est décalé même d’une fraction de degré peut se...

Sur la ligne 300 mm, l’empilement TSV se dégrade dès que l’uniformité thermique commence à dériver. Une excursion d’un seul degré Celsius pendant la...

Sur la ligne de lithographie, le recuit du photoresist n’est pas seulement une étape thermique, c’est une étape dimensionnelle. Un écart de 1°C lors...