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		<title>TSV on Premium Infrared Heat Ace</title>
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				<title>Calentador TSV (Vía a través del silicio)</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heat-ace.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png&#34; alt=&#34;Calentador TSV (Vía a través del silicio)&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;En la línea de 300mm, el apilamiento TSV se descompone en el momento en que la uniformidad térmica comienza a desviarse. Una excursión de un solo grado Celsius durante el horneado del fotoresistente &lt;a href=&#34;https://goldisgood.com&#34;&gt;alterar&lt;/a&gt;á el perfil del vía, y la explosión de partículas causada por el ciclo térmico puede arruinar todo el lote. Construimos el calentador TSV para eliminar esa incertidumbre.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;Qué lo hace funcionar, técnicamente&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;Utilizamos un elemento de infrarrojo de onda corta con una arquitectura térmica basada en cuarzo, de modo que el calor se acopla directa y rápidamente, sin puntos calientes. A lo largo del wafer, la uniformidad en estado estacionario se mantiene dentro de ±0,1°C, y la repetibilidad entre horneados se sostiene en ±0,05°C. Las tasas de rampa superan los 10°C/s con sobreimpulso controlado, lo que preserva el presupuesto térmico en los dieléctricos apilados.&lt;/p&gt;</description>
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