lámpara calefactora TEL (Tokyo Electron)

Mon, 08 Jun 2026 05:22:51 +0800

En la sala de litografía, sabes cómo es. Un horneado suave que se desvía aunque sea una fracción de grado puede manifestarse como variación en el ancho de línea—y eso representa rendimiento perdido. Necesitas un calentamiento que cumpla exactamente con la especificación de la tarjeta de proceso, en cada corrida. Las lámparas calefactoras TEL están diseñadas para ofrecer esa consistencia.

Lo que importa bajo el capó

Construimos la lámpara alrededor del infrarrojo de onda corta, usando un elemento halógeno dentro de una envoltura de cuarzo. Esto proporciona una transferencia de energía rápida y direccional. El resultado es un campo térmico submilimétrico que alcanza uniformidad a nivel de oblea dentro de tolerancias estrictas, y una repetibilidad que mantiene estables los perfiles de horneado de fotoresist después de cada corrida.
El control de temperatura es lo suficientemente preciso para proteger el presupuesto térmico en nodos avanzados, y el tiempo de respuesta acompaña secuencias de alto rendimiento. La compatibilidad con salas limpias tampoco es un detalle secundario: los materiales y la construcción minimizan la generación de partículas y mantienen estable la salida, incluso en operaciones 24/7.

(Tokio on Premium Infrared Heat Ace

lámpara calefactora TEL (Tokyo Electron)

Lo que importa bajo el capó