http://ir-heat-ace.com/de/tags/stottern/ Recent content in Stottern on Premium Infrared Heat Ace Hugo de Tue, 30 Jun 2026 13:05:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/de/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Tue, 30 Jun 2026 13:05:45 +0800 http://ir-heat-ace.com/de/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Heizgerät für das Sputtern von Halbleitern"></p> <p>In der Fertigungsstätte sind thermische Abweichungen nicht nur störend – sie führen auch zu Problemen bei der Herstellung der Schichten auf dem Wafer. Eine Spritzgaskammer, die auch nur minimal von der Zieltemperatur abweicht, verursacht Spannungen in der Schicht sowie Uneinheiten in ihrer Dicke. Das wiederum hat Auswirkungen auf die Lithografie- und Ätzungsvorgänge. Wir haben unsere Infrarotheizgeräte so konstruiert, dass diese Unwäschkeiten beseitigt werden – die Stabilität der Schichtentstehung wird somit direkt an der Waferoberfläche gewährleistet.</p>