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		<title>Heizen on Premium Infrared Heat Ace</title>
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				<title>Zukunft der Halbleiterheiztechnologie</title>
				<link>http://ir-heat-ace.com/de/posts/future-of-semiconductor-heating-tech/</link>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heat-ace.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png&#34; alt=&#34;Zukunft der Halbleiterheiztechnologie&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Auf der Produktionsfläche reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad bei der Temperaturregulierung aus, um die Kontrolle über die kritischen Abmessungen zu beeinträchtigen – mit dem Ergebnis, dass die Wafer als Schrott enden. Bei der Lithografie und im Prozess des Fotoresist-Einsatzes ist die thermische Stabilität nicht nur von Vorteil – sie ist vielmehr eine Notwendigkeit. Wir haben das Heizsystem so konzipiert, dass es auch bei einem 7×24-Stunden-Betrieb funktional bleibt. Jeder Betriebszyklus muss dabei zuverlässig ablaufen, ohne Ausnahmen.&lt;/p&gt;</description>
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