http://ir-heat-ace.com/cs/tags/nejlep%C5%A1%C3%AD/ Recent content in Nejlepší on Premium Infrared Heat Ace Hugo cs Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/cs/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Mon, 01 Jun 2026 20:38:15 +0800 http://ir-heat-ace.com/cs/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://ir-heat-ace.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Nejlepší infračervená lampa pro fotorezist"></p> <p>Na lithografické hale není pečení fotoresistu pouze tepelným krokem – je to krok rozměrový. Posun o 1°C během soft bake se projeví v kontrole kritických rozměrů a profilu boční stěny. Náš infračervený lampový zdroj pro fotoresist jsme navrhli s ohledem na tuto skutečnost, s cílem dosáhnout tepelnou uniformitu na úrovni waferu ±0,1°C a stabilní profily pečení napříč celou várkou.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Používáme krátkovlnné infračervené záření s rychle reagujícím emitorem pro rychlé a čisté dodání tepla. Systém přesně udržuje nastavenou teplotu během soft bake i hard bake díky zpětnovazebnímu řízení, které kompenzuje stárnutí lampy a kolísání napájecího napětí. Konstrukce je kompatibilní s čistými prostory třídy 1–100, používá materiály a těsnění minimalizující tvorbu částic. V produkci to <a href="https://o-yate.net">znamen</a>á méně vad, stabilní výtěžnost a konzistentní výkon fotoresistu od prvního po poslední wafer.</p>