Úvod Věc je v tomto: neusilovali jsme o to vytvořit prostě „ještě jednu“ lampu. Vytvořili jsme tento náhradní produkt Mattson RTP tak, aby mohl...

V provozu se při vypalování fotorezistu určuje teplotní profil celého procesu litografie. Pokud začne lampa nefungovat správně, teploty během procesu...