Optimalizace efektivity vysoušení waferů pomocí systémů s vysokou odrazivostí v infračervené oblasti
Správné zahřívání: Tajemství lepšího vysušování polovodičových destiček Při vysušování polovodičových destiček je cíl jednoduchý: přivést teplo...
Infravlnová lampa pro zasychání fotorezistu
Na litické ploše si nemůžete dovolit žádné odchylky. I malá odchylka o půl stupně naruší profil fotorezistu – a najednou musíte bojovat o udržení...