Úvod Věc je v tomto: neusilovali jsme o to vytvořit prostě „ještě jednu“ lampu. Vytvořili jsme tento náhradní produkt Mattson RTP tak, aby mohl...

Precizní halogenová topidla: tajemství udržení stability na úrovni 0,1 °C v továrnách na výrobu polovodičů Tyto halogenové topidla jsme vyvinuli pro...

V provozu se při vypalování fotorezistu určuje teplotní profil celého procesu litografie. Pokud začne lampa nefungovat správně, teploty během procesu...

V prostoru výroby nejsou tepelné odchylky jen nepřesnostmi – jsou to také faktory, které snižují kvalitu výrobku. Pokud se komora určená k procesu...

V provozu výroby stačí poloviční odchylka teploty během procesu zahřívání k tomu, aby došlo k narušení kontroly kritických rozměrů waferů a ty musely...

Na litické ploše si nemůžete dovolit žádné odchylky. I malá odchylka o půl stupně naruší profil fotorezistu – a najednou musíte bojovat o udržení...

V prostředí výroby stačí během zahřívání fotorezistu odchylka teploty o 0,5 °C k tomu, aby došlo ke změnám řezné šířky a ke ztrátám velkého množství...

V prostorách výroby nejsou opravy nástrojů součástí plánu – jedná se o nouzové situace. Když selže nějaký část nástroje, každá minuta ztracená na...

Out on the lithography floor, you know how it goes. A soft bake that’s off by even a fraction of a degree can show up as linewidth variation—and...

Out na lince 300mm se TSV stackování rozpadá ve chvíli, kdy začne kolísat tepelná homogenita. Jediný stupeň Celsia odchylky během vypalování...

Na lithografické hale není pečení fotoresistu pouze tepelným krokem – je to krok rozměrový. Posun o 1°C během soft bake se projeví v kontrole...