كيفية تجفيف رقائق MEMS دون تدميرها
تجفيف رقائق أجهزة الاستشعار من نوع MEMS يتطلب درجة عالية من الدقة. يجب إزالة الماء من الرقائق بسرعة، لكن إذا تم ذلك بشكل مفرط، فإن ذلك سيؤدي إلى تدمير التركيبات الدقيقة الموجودة في الرقائق.
لتحقيق هذا الهدف، نستخدم أجهزة تسخين بالأشعة تحت الحمراء مع مرايا مغطاة بالذهب. الهدف واضح: تجنب إهدار الطاقة، وضمان وصول كل فوتون إلى الرقيقة.
لماذا الذهب؟
يفضل معظم الناس استخدام مرايا من الألومنيوم، لكن المشكلة هي أن الألومنيوم يمتص كمية كبيرة من الطاقة الحرارية. لذلك نستخدم الذهب ذو النقاء العالي، لأنه يعكس الضوء تحت الأحمر بكفاءة عالية.
لكن الأمر لا يتعلق فقط بالعكس؛ فباستخدام طبقة من الذهب مع منحنى بارابولي محدد، يمكننا توجيه الحرارة بدقة إلى الرقيقة. وبذلك، لا حاجة إلى رفع جهد اللمبات لإنجاز المهمة. إنها طريقة أكثر ذكاءً، وليست أكثر صعوبة.
تحقيق التوازن بين الطاقة والحرارة
عند إعداد هذه الأجهزة، يجب موازنة السرعة مع الأمان.
بالطبع، اللمبات ذات القدرة العالية مفيدة للحفاظ على سرعة الإنتاج، لكنها تولد كمية كبيرة من الحرارة. إذا لم يتم التحكم في درجة الحرارة، فإن الحرارة ستظل موجودة، مما قد يؤدي إلى تلف الرقائق. إنها مشكلة لا أحد يريد مواجهتها.
الحفاظ على استمرارية العمل
لقد صُممت هذه الأجهزة لتكون قابلة للاستبدال بسرعة. لا أحد يريد أن يتوقف الإنتاج لساعات.
تم ترتيب المرايا بشكل مثالي مع محور اللمبة، حتى لا تظهر مناطق باردة على الرقيقة. لكن يجب الانتباه إلى أن الذهب حساس للغاية؛ فإذا كان في المصنع غازات تآكلية، فإن هذه الطبقات ستتلف. لذا، يجب حماية الرقائق أو مراقبتها بعناية. ويرجى الانتباه أثناء التنظيف، باستخدام المواد المناسبة. أي تنظيف خاطئ باستخدام قماش خشن قد يتسبب في خدوش على سطح الرقيقة، وبذلك يقل مستوى الكفاءة.