
为何在半导体干燥过程中放弃热风,转而使用红外线技术?
如果你曾在芯片制造厂工作过,那一定知道冲洗后的干燥过程有多麻烦。长期以来,我们一直依赖热风循环来干燥芯片。但说实话,这种方法的效率实在很低——因为热量需要通过空气来传递,这个过程非常缓慢,还会浪费大量时间。
正因如此,我们转而使用红外线技术。红外线可以直接照射到芯片表面,无需等待空气来传递热量。这种方式效率极高。
节省时间
热风干燥装置体积庞大,会占用洁净室里的大量空间。此外,为了确保水分完全蒸发,芯片还需要在系统中停留很长时间,这无疑增加了不必要的时间成本。而使用防水型红外线灯则可以避免这些问题。由于红外线能量能够直接穿透液体并迅速加热芯片表面,因此原本需要几分钟才能完成的干燥过程,现在只需几秒钟即可完成。这样一来,每小时的加工量就会增加,而且也不需要再为安置更多设备而拆改厂房结构。
适合潮湿环境
不过,标准型红外线灯无法承受潮湿环境。如果将其置于高湿度环境中,或者被冲洗液溅到,它们很快就会损坏。为了解决这个问题,我们使用了特殊的石英外壳和防水密封装置。这些灯具能够承受持续的潮湿环境和温度变化,从而保持稳定性能。这样,即便环境潮湿,也能实现高效的加热效果。
难点所在
不过,红外线技术也并非完美无缺。它能在极小的区域内产生极高的热量,因此很容易导致芯片边缘过热或传感器损坏。所以,需要找到合适的功率平衡点——既要确保水分能快速蒸发,又不能造成局部过热现象。一旦找到合适的平衡点,使用红外线技术就变得非常简单了。毕竟,关键还是让芯片尽快完成干燥过程,继续下一步加工。