
为什么我们在生物传感器生产中放弃使用传统烤箱,转而采用红外灯
如果您曾在半导体洁净室工作过,那么您应该知道传统对流烤箱的缺点:它们加热速度慢,体积庞大。而且,为了加热大量空气以让微型传感器固化,显然是一种浪费时间和电力的做法。 正因如此,我们选择了专门的红外灯系统。
将热量精准地传递到需要的位置
短波红外线的特点是它不会影响空气中的其他成分,而是直接作用于基底上。这样一来,我们就无需等待数分钟才能让烤箱升温,几秒钟内就能完成加热过程。这样的速度差异实在巨大。我们需要高功率密度,这样才能确保有机层能够完美结合在一起,但同时也要小心行事,避免破坏硅基材料。
材料的选择
我们会使用带有特殊涂层的石英外壳,以此来调整光谱。因为紫外线会破坏生物试剂,如果让紫外线透过,那么样本在开始处理之前就会被破坏。此外,我们还会确保石英的纯度极高,这样在真空环境中就不会出现异常的气体释放问题。 不过需要注意的是,如果让这些灯以全功率运行,石英会变得很脆弱。为了避免设备在运行过程中突然损坏,我们必须定期更换石英部件。
节省能源,同时保护环境
采用红外灯后,整个工厂的能耗大幅降低。传统对流烤箱其实相当于巨大的散热器,它们会将热量散布到整个洁净室中,这就迫使空调系统持续工作以保持房间凉爽。而不用再使用这种烤箱后,我们就无需再为额外的能耗烦恼了。 此外,这些设备的占用空间也大大减少。 当然,这并非毫无代价。我们必须精确控制光源与晶圆之间的距离。如果距离过近,就会产生局部过热现象,从而导致整批产品报废。为避免这种情况,我们会使用闭环温度计来实时监测温度。