保持洁净：关于晶圆干燥的真相
在100级洁净室中，哪怕只有一粒灰尘存在，都会造成灾难性后果。如果加热元件释放出哪怕一点点颗粒物，那整批晶圆就毁了。就是这么简单。
大多数人会使用普通的金属外壳加热器或廉价的陶瓷加热器，但这些材料随着时间推移会释放气体或出现剥落现象。因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这类灯泡不会出现问题。
为什么选择石英材料？
我们选择高纯度石英，是因为它能够承受极端的温度变化而不会破裂。市面上的大多数红外灯都使用普通材料，但对于晶圆干燥来说，需要的是那种不会发生质变的材料。当我们将这些灯的功率调高时，石英仍能保持化学稳定性，不会剥落或破碎，从而持续发挥其作用。
最棒的是，热量可以直接从灯泡传递到晶圆上，中间没有任何障碍物。这样一来，就无需再使用强制通风系统，因为强制通风往往是洁净室中出现灰尘的主要原因。
缺点与注意事项（因为没有什么是完美的）
这些灯的升温速度非常快。我们使用短波红外光，这样热量可以立刻作用于晶圆表面。不过，这样的高能量密度意味着必须精确控制焦点距离。如果灯泡距离晶圆太近，就会导致局部过热。因此，需要使用可靠的固定装置来确保距离准确无误。
此外，我们还会使用专门的连接器——通常是R7或Sk15型号——以确保所有部件都密封良好。连接不牢固不仅会导致电弧现象，还会让污染物进入灯泡内部。
如何在生产线上应用这些灯泡？
将这些灯泡应用到干燥阶段时，关键在于控制热量分布。由于这些灯泡的升温速度极快，因此电源系统必须能够承受初始的电流峰值。我建议搭配PID控制器使用，这样可以避免系统温度超过设定值。
另外，千万不要在不具备适当冷却系统的情况下增加灯泡的功率。否则，密封件很快就会被烧坏。