فیب فلور پر، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے عمل میں، پورے لیتھوگرافی سائیکل کے لئے تھرمل پروفائل مقرر کیا جاتا ہے۔ اگر لیمپ کی کارکردگی کم ہونے لگے، تو سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے درجہ حرارت میں تغیرات آ جاتے ہیں، اور یہ تغیرات چند منٹوں میں ہی محسوس ہو جاتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں سی ڈی میں تغیرات آتے ہیں، اور پیداوار میں کمی واقع ہوتی ہے۔ ہم نے ایسا فلامنٹ تیار کیا ہے جو تھرمل پروفائل کو مستقل رکھنے میں مدد کرتا ہے۔
دراصل، اہم بات یہ ہے کہ بوجھ کے تحت بھی عمل کی تکراریت برقرار رہے۔ فلامنٹ کو شارٹ-ویو یا میڈیم-ویو پروفائل کے لئے ہی استعمال کیا جاتا ہے، تاکہ اشعاع کی سطح مستحکم رہے، اور ہاٹپلیٹ کی سطح پر درجہ حرارت کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جاسکے۔ اس طرح ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C تک رہتی ہے، کیوں کہ اخراج کو کنٹرول کیا جاتا ہے، اور کوارٹز کی ساخت بھی مستقل رہتی ہے۔ ہم کنیکٹر کی اقسام اور سائزوں کو اصل آلات کے مطابق ہی استعمال کرتے ہیں، اور یہ سٹینڈرڈ پاور سپلائیز اور تھرمل کنٹرولرز کے ساتھ بھی کام کرتا ہے۔
مواد کا انتخاب اس طرح کیا گیا ہے کہ اس سے کم گیسیں خارج ہوں، اور کوئی ذرات بھی پیدا نہ ہوں؛ اس طرح کلاس 1-100 کے صاف کمروں میں بھی کوئی مسئلہ نہیں ہوتا، اور ذرات کی تعداد بھی بڑھتی نہیں ہے۔
عملی طور پر یہ کیوں کام کرتا ہے، یہ بہت آسان ہے۔ فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کا عمل ہزاروں بار دہرایا جاسکتا ہے، اس طرح فضول مال اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، اور طویل عمر کی وجہ سے لیمپوں کی تبدیلی کی ضرورت بھی کم ہو جاتی ہے، جس سے غیرمتوقع وقفے بھی کم ہو جاتے ہیں۔ اس طرح پروسیس کے نتائج مستقل رہتے ہیں، اور سی ڈی کا کنٹرول بھی مستحکم رہتا ہے۔
کچھ اہم نکات: لیمپ کی تنصیب کے دوران لیمپ کی سمت کو درست کرنا ضروری ہے؛ اگر لیمپ درست سمت میں نہ ہو، تو گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں، اور یکسانیت ختم ہو جاتی ہے۔ لیمپ کو تبدیل کرنے سے پہلے ریفلیکٹر کی حالت کی جانچ کریں، اور ساکٹ کے کنٹیکٹس کو صاف کریں۔ مقررہ وولٹیج سے باہر کام کرنے سے لیمپ کی عمر کم ہو جاتی ہے، اور تھرمل تغیرات بھی پیدا ہو جاتے ہیں۔ بہترین نتائج کے لئے، فلامنٹ کو درجہ حرارت سینسرز کی باقاعدہ کیلیبریشن کے ساتھ ہی استعمال کریں۔