Neden “Yeterince İyi” Olmak Wafer Araçları İçin Yeterli Değil?
Wafer araçları için ısıtıcı elemanlar veya sensörler gönderirken “rastgele örnekleme” yöntemi işe yaramaz. Bu yöntem hiçbir şekilde etkili değildir.
Düşünün: Yüksek vakum ortamında meydana gelen küçük bir yalıtım hatası bile büyük bir felakete yol açabilir. Bu durumda ya güç kaynağı bozulur, ya da daha kötüsü, tüm waferler kirlenmiş olur. Bu, kimse istemeyeceği bir durumdur.
İşte bu yüzden her bir üniteyi test ediyoruz. Hiçbir istisna yok. Her parça, fabrikadan çıkmadan önce gerilim dayanıklılığı ve yalıtım direnci testlerinden geçirilir.
Parçaların Sıkı Testlerden Geçirilmesi
Wafer araçlarının çalıştığı ortam son derece zorlu koşullardır. Malzemeler sürekli genişleyip daralıyor. Zamanla bu baskılar seramik yalıtkanlarda mikro çatlaklara neden olur veya kabloların kaplamalarını aşındırır.
Eğer bir sensörde gizli bir zayıflık varsa, bu zayıflık çalışma sıcaklığına ulaşıncaya kadar fark edilmez. O zaman mı sorun ortaya çıkar? Evet.
Bunu engellemek için parçalara aşırı gerilim uygularız. Böylece gizli kusurlar yüzeye çıkar. Eğer sızıntı akımında artış görürsek, o ünite kullanılamaz hale gelir. Biz “çoğunlukla çalışan” parçalar aramıyoruz; orada olmaması gereken herhangi bir akım yolunu bulmaya çalışıyoruz.
Yalıtımın Detayları
Yalıtım direncini Meg Ohm cinsinden ölçerek malzemenin akımı ne kadar iyi engellediğini anlarız. Genellikle bu değer düşerse, bunun sebebi içeriye su sızması veya montaj sırasında bir şeylerin kirlenmesidir.
Yalıtımın sağlamlığını kontrol etmek için yüksek voltajlı DC kaynağı kullanırız. Bu, yalıtımın eşit şekilde çalışmasını sağlamanın tek yoludur. Bu sayede ısıtıcı elemanların araca zarar vermesi engellenir.
Denge Kavramı
Her zaman bir denge söz konusudur. Daha yüksek sıcaklık elde etmek istiyorsanız, yalıtımın iki kat daha iyi çalışması gerekir. Aletin daha kompakt olması veya daha hızlı ısınması için daha ince yalıtkanlar kullanılabilir; ancak bu durumda hata payı neredeyse sıfır olur.
Yalıtkanın kalınlığını, ısının nasıl hareket etmesi gerektiğiyle dengelemek gerekir. Eğer alet için aşırı yüksek voltajlar kullanılıyorsa, topraklama yollarının kusursuz olmasına dikkat edilmelidir. Aksi takdirde sorunlar ortaya çıkar ve bu da istenmeyen bir durumdur.