Üretim alanlarında termal dalgalanmalar sadece küçük sapmalar değildir; aynı zamanda ürün kalitesini düşüren faktörlerdir. Hedefden biraz olsun sapan bir spreyleme odası, filmin üzerinde stres yaratır ve kalınlıkta düzensizliklere neden olur. Bu durum da doğrudan litografi ve aşındırma işlemlerini olumsuz etkiler. Bu tür belirsizlikleri ortadan kaldırmak için kızılötesi ısıtıcılar geliştirdik; böylece depozisyon sürecinin stabilitesi wafer yüzeyinde sağlanmış olur.
Kısa dalga boyundaki kızılötesi ısıtıcılar, hızlı ve doğrudan ısı transferi sağlayarak waferin kalınlığını ±0,1°C aralığında tutar. Kuvars radyatör yapısı ve kapalı döngü kontrolü sayesinde termal stabilite sağlanır; böylece istenen kalınlığa ulaşılır. Fotoresist işlemlerinde ise bu kızılötesi sistem, önceden ısıtma işlemlerinde tekrarlanabilir sonuçlar verir ve temiz, tutarlı sonuçlar elde edilir. Böylece daha az hata ve sorun yaşanır.
Bu sistem tasarım olarak temiz oda koşullarına uygundur. Isıtıcı gövdesi, Class 1–100 koşullarında parçacıksız çalışır ve düşük gaz salınımı olan malzemeler sayesinde uzun süreli spreyleme işlemlerinde kirlilik engellenir. Wafer kenarlarında hiçbir parçacık olmadığı için daha az reddedilen ürün olur ve bakım işlemleri de daha kolay halledilir. Sonuç olarak, stabil işlem süreleri, wafer başına düşen enerji miktarının azalması ve her parti için tutarlı film özellikleri elde edilir.
Çoğu spreyleme platformunda kurulumu oldukça basittir; ancak kompakt yapı nedeniyle koruyucu bölmeler ve diğer donanımlar arasındaki boşluklar daralır. Entegrasyon işlemlerini önceden planlayın; montaj arayüzlerini uyumlu hale getirin ve hat değişikliği yapmadan önce optik yolun boşluklarını kontrol edin. Sistem kurulduktan sonra 24/7 çalışır ve veri tablosundaki tekrarlanabilirlik özellikleri, her parti için standartlar içinde kalır.