Makinenizi Isıtmayı Bırakın: Waferleri Isıtmanın Daha İyi Bir Yolu Yarı iletken işleme süreçlerinde karşılaşılan sorun şudur: Waferi ısıtmanız gerekir, ancak bu işlem sırasında pahalı ekipmanlarınızın erimesini istemezsiniz. Çoğu standart ısıtıcı, ısıyı her yöne yaymakta. Bu durum oldukça karmaşık ve verimsizdir. Tüm bu “atık ısı”, odanın duvarlarına sızar; bu da ekipmanların dokunulduğunda tehlikeli derecede sıcak olmasına neden olur. Daha da kötüsü, içindeki hassas parçalar bozulabilir. Bu hiç de ideal değil. Yönlü Isıtmanın Püf Noktası Bunu kısa dalga infrared (IR) lambalar kullanarak çözüyoruz. Bu lambalar, ısıyı her yere yaymak yerine enerjiyi doğrudan waferin üzerine yönlendirir. Bunu yapmak için özel yansıtıcılar ve kuvars kılıf üzerindeki akıllı kaplamalar kullanılır. Açıyı daraltarak enerjinin hedefe ulaşmasını sağlarız. Böylece ısı, ekipmanın diğer kısımlarına sızmaz ve böylece ekipmanınız korunmuş olur. Mesafenin “En İyi Değeri”nin Bulunması IR lambasını doğrudan waferin üzerine yerleştiremezsiniz. Bunu yaparsanız, lokal olarak aşırı sıcaklıklar oluşur veya en kötü ihtimalle waferin yüzeyi yanar. Burada önemli olan mesafedir. Lamba çok yakındaysa ısı eşit dağılmaz. Çok uzaktaysa ise waferin etrafındaki havayı ısıtmak için gereksiz enerji harcanmış olur. Genellikle sıcaklığın ne kadar hızlı yükselmesi gerektiği ile ısının ne kadar eşit dağılması gerektiği arasında denge kurmak için çok zaman harcarız. Ayrıca, işleri hızlandırmak için gücü artırırsanız, mesafeyi genişletmeniz veya odanın duvarlarının soğutma kapasitesini artırmanız gerekir. Tercihlerin Maliyetleri Hiçbir şey bedava değildir. Yönlü ısıtma, ekipmanınızın duvarlarını korursa da, lambanın içindeki filaman üzerinde daha fazla baskı yaratır. Çünkü enerji çok yoğun bir şekilde yönlendirildiğinden, lamba kendisi de çok daha yüksek sıcaklıklarda çalışır. Kablolamaya dikkat etmelisiniz. Bağlayıcıların gerçekten gerekli akımı kaldırabildiğinden emin olun; aksi takdirde bağlantı noktaları eriyebilir. Ayrıca soğutma fanlarına da dikkat edin. Eğer fanlar çalışmayı durdurursa, yoğun ısı lambanın gövdesini çok hızlı bir şekilde tahrip edebilir.