ในโรงงานผลิตชิป ความผันผวนทางอุณหภูมิไม่ใช่เพียงแค่ความคลาดเคลื่อนธรรมดาๆ เท่านั้น แต่ยังเป็นสาเหตุที่ทำให้อัตราการผลิตลดลงอีกด้วย หากห้องสำหรับกระบวนการสปัตเตอริ้งมีความคลาดเคลื่อนเพียงเล็กน้อย ก็จะส่งผลให้เกิดความเครียดในชั้นฟิล์ม และทำให้ความหนาของฟิล์มไม่สม่ำเสมอ ซึ่งส่งผลต่อกระบวนการลิธอกราฟีและการกัดกร่อนด้วย เราได้ออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดขึ้นมาเพื่อขจัดความไม่แน่นอนเหล่านี้ โดยทำให้อุณหภูมิที่ใช้ในการสร้างฟิล์มมีความสม่ำเสมออยู่ที่ระดับวงแหวนของแผ่นวีเดียร์
การออกแบบแบบอินฟราเรดคลื่นสั้นของเราช่วยให้ความร้อนถูกส่งไปยังแผ่นวีเดียร์ได้อย่างรวดเร็วและตรงกว่าเดิม ทำให้ความหนาของฟิล์มมีความสม่ำเสมออยู่ในช่วง ±0.1°C นอกจากนี้ โครงสร้างของเครื่องทำความร้อนแบบควอตซ์ รวมถึงระบบควบคุมแบบลูปปิด ยังช่วยให้อุณหภูมิคงที่ ทำให้ได้ความหนาของฟิล์มที่แม่นยำ ในกระบวนการประมวลผลฟอโตรเซสติฟ อินฟราเรดนี้ยังช่วยให้การกำจัดสารละลายเป็นไปอย่างสม่ำเสมอ และช่วยให้การอบแห้งเป็นไปอย่างสม่ำเสมออีกด้วย ทำให้ลดปัญหาเกี่ยวกับการเกิดคราบสกปรกที่อาจส่งผลให้เกิดข้อผิดพลาดในการผลิตชิปได้
เครื่องนี้ถูกออกแบบมาให้ใช้ได้ในห้องผลิตที่มีมาตรฐานสูง โดยตัวเครื่องทำความร้อนไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ในห้องที่มีมาตรฐาน Class 1–100 และวัสดุที่ใช้มีการปล่อยก๊าซน้อยมาก จึงช่วยป้องกันไม่ให้เกิดการปนเปื้อนระหว่างการผลิต การไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นที่ขอบแผ่นวีเดียร์ ทำให้ลดจำนวนชิ้นงานที่เสียหาย และช่วยให้การบำรุงรักษาเป็นไปได้ง่ายขึ้น สุดท้ายแล้ว คุณจะได้ความเร็วในการผลิตที่สม่ำเสมอ การใช้พลังงานต่อแผ่นวีเดียร์ที่น้อยลง และคุณสมบัติของฟิล์มที่สม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์
การติดตั้งเครื่องนี้ก็ง่ายมากในแพลตฟอร์มสปัตเตอริ้งส่วนใหญ่ แต่ขนาดที่กะทัดรัดของเครื่องอาจทำให้มีพื้นที่ว่างรอบๆ เครื่องน้อยลง ดังนั้นควรวางแผนการติดตั้งล่วงหน้า โดยตรวจสอบความเหมาะสมของอินเทอร์เฟซการติดตั้งและระยะห่างระหว่างอุปกรณ์ต่างๆ ก่อนที่จะเปลี่ยนไลน์การผลิต เมื่อติดตั้งเสร็จแล้ว เครื่องนี้จะสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงโดยมีความคลาดเคลื่อนน้อยมาก และความสม่ำเสมอที่เห็นในข้อมูลจำเพาะของเครื่องก็จะปรากฏในกระบวนการผลิตจริงด้วย