Прекратите использовать обычные нагреватели для нагрева пластин – существует более эффективный способ. В процессе обработки полупроводников необходимо нагреть пластину, но при этом не следует разрушать дорогостоящее оборудование. Большинство стандартных нагревателей распространяют тепло во все стороны. Это приводит к тому, что лишнее тепло попадает на стены камеры, из-за чего оборудование становится слишком горячим для прикосновения. К тому же это может повредить чувствительные элементы внутри оборудования. Это явно не идеально. Секрет направленного нагрева Мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Вместо того чтобы рассеивать тепло во все стороны, эти лампы направляют энергию прямо на пластину. Для этого мы используем специальные отражатели и особые покрытия на корпусе лампы. Благодаря этому энергия достигает цели и остается там. Таким образом предотвращается распространение тепла по всему оборудованию. Выбор оптимального расстояния Нельзя просто поднести лампу слишком близко к пластине. В этом случае возникают локальные точки высокой температуры, а в худшем случае повреждается сама поверхность пластины. Все зависит от расстояния между лампой и пластиной. Если лампа слишком близка, тепло распределяется неравномерно. Если же лампа слишком далеко, энергия тратится впустую на нагрев воздуха вокруг пластины. Обычно мы тратим много времени на то, чтобы найти оптимальное соотношение между скоростью нагрева и равномерностью распределения тепла. Еще один важный момент: если вы увеличите мощность лампы, чтобы ускорить процесс нагрева, вам придется увеличить расстояние между лампой и пластиной или усилить систему охлаждения стенок камеры. Компромиссы Ничто не бывает бесплатным. Хотя направленный нагрев помогает защитить стенки камеры, он создает большую нагрузку на внутренние элементы лампы. Из-за сосредоточенного излучения лампа нагревается еще сильнее. Необходимо быть осторожными с проводкой. Убедитесь, что контакты способны выдерживать требуемый ток; в противном случае могут произойти повреждения контактов. Также не забывайте контролировать работу вентиляторов охлаждения. Если они перестанут работать, сосредоточенное тепло может быстро повредить корпус лампы.