Почему мы отказываемся от использования принудительного обдува в пользу инфракрасного нагрева в камерах для обработки полупроводников
Если вы занимаетесь процессами глубокой обработки, то наверняка знаете, как раздражает необходимость ожидания, пока камера нагреется. Старый способ — использование принудительного обдува — очень медленный и неэффективный. На самом деле это просто пустая трата времени.
Поэтому сейчас все чаще используется инфракрасный нагрев. Секрет заключается в том, что инфракрасные лучи не влияют на газы; они не тратят энергию на нагрев воздуха. Вместо этого энергия направляется непосредственно на поверхность объекта, который нужно нагреть. Можно сравнить это с солнечными лучами, которые согревают кожу в холодный день: воздух может быть ледяным, но вы все равно чувствуете тепло.
Это позволяет сократить время ожидания с нескольких часов до нескольких минут. При проектировании таких устройств мы уделяем особое внимание плотности мощности. Мы используем коротковолновый инфракрасный свет, так как он реагирует почти мгновенно. Достаточно просто включить устройство, и температура сразу достигает необходимого уровня.
Кроме того, можно избавиться от громоздких вентиляторов и сложных систем кондиционирования. Это сокращает размеры оборудования, а рабочее пространство становится более просторным.
Но это не значит, что все работает без проблем. Есть несколько моментов, на которые нужно обратить внимание. Поскольку инфракрасные лучи движутся по прямой линии, при необычной форме объекта могут возникать «точки высокой температуры». Нет никакого воздушного потока, который мог бы смягчить этот эффект. Поэтому необходимо правильно располагать устройства или использовать отражатели для равномерного распределения тепла.
Еще один совет: не переусердствуйте с мощностью устройства без соответствующей защиты. Иначе вы можете повредить уплотнители камеры, что приведет к утечке вакуума. Это точно не будет приятно никому.
В конце концов, речь идет о времени, необходимом для выполнения работы. Никому не нравится ждать, пока камера нагреется. На производствах с высокой производительностью сокращение времени нагрева на 40% имеет огромное значение. Это разница между выполнением задания в срок и бездействием из-за задержек.
Мы создаем устройства, которые помещаются в ограниченное пространство камеры, при этом сохраняя стабильную мощность нагрева, чтобы работа выполнялась без проблем.