Прекратите бороться с проблемой «горячих стен»
Если вы когда-либо занимались проектированием систем отопления для производства полупроводниковых устройств, то знаете, какова это на самом деле проблема. На самом деле не так уж и сложно нагреть пластину до нужной температуры – это простая часть процесса. Настоящая проблема заключается в том, чтобы не допустить перегрева остальных элементов оборудования.
Стандартные конвективные обогреватели создают серьезные проблемы: они распространяют тепло повсюду. Вскоре внутренние поверхности оборудования становятся слишком горячими, операторы рискуют получить ожоги, а чувствительная электроника может быть повреждена из-за высокой температуры. Это настоящий хаос.
Вот как мы решаем эту проблему.
Мы используем инфракрасные лампы коротких волн. Представьте себе фонарик, только вместо света он излучает тепло. Вместо того чтобы нагревать всё воздухо в камере, инфракрасные лампы направляют энергию прямо на объект обработки. Благодаря использованию отражателей и специальной формы ламп можно сосредоточить энергию в узком луче. Луч попадает на объект обработки и останавливается там. Поскольку стены камеры не находятся на линии видимости, они остаются прохладными. Проще говоря, всё очень просто.
Правильное контролирование температуры
Когда вы работаете в чистой комнате, скорость имеет огромное значение. Инфракрасные лампы коротких волн отлично подходят для этой цели – они проникают глубже и реагируют гораздо быстрее, чем лампы длинных волн. Вы можете быстро повысить температуру.
Но нужно быть осторожным: высокоэнергетичные инфракрасные лампы могут выделять огромное количество энергии в небольшом пространстве. Если материал, который обрабатывается, имеет небольшую теплоемкость, легко превысить заданную температуру. Поэтому необходимо использовать систему PID для точного контроля температуры, а также термопары с быстрой реакцией, чтобы предотвратить выход за рамки допустимых значений.
Практические аспекты
Самое прекрасное в этом решении – можно избавиться от объемных изоляционных экранов, которые занимают много места. Это делает корпус оборудования безопасным для прикосновения, а само оборудование – меньше по размерам.
Техническое обслуживание также происходит легко: когда лампа сгорает, ее достаточно заменить на новую. Только убедитесь, что разъемы плотно соединены – никто не хочет, чтобы в высоковольтной системе возникали проблемы.