Op de productielijn zijn thermische afwijkingen geen kleinigheidje – ze kunnen zelfs de kwaliteit van het product verpesten. Een spuitkamer die ook maar iets van koers afwijkt, zorgt voor spanningen in het laagje dat wordt opgebracht en voor ongelijkmatigheden in de dikte van dat laagje. Dit heeft weer gevolgen voor de lithografie- en etapprocessen. We hebben onze infraroodverwarmingselementen zo ontworpen dat deze deze onzekerheden wegnemen en zo de stabiliteit van het proces op het juiste niveau houden: op het oppervlak van de wafer.
Het kortegolflange infraroodlicht zorgt voor snel en directe warmteoverdracht naar de wafer, waardoor de eenheid van dikte op het niveau van de wafer zich binnen ±0,1°C bevindt. De geometrie van de kwartsradiator en de gesloten regelingscyclus zorgen erop dat de thermische parameters nauwkeurig worden geregeld. Hierdoor wordt het gewenste diktebereik behaald, zonder dat er sprake is van overdreven warmteoverdracht. Tijdens het verwerken van fotoresist zorgt ditzelfde infraroodlicht voor een consistente verwijdering van het oplosmiddel en voor een schone, consistente hardbakprocess. Hierdoor zijn er minder problemen met vuil en oneffenheden, wat later kan leiden tot fouten in de kwaliteit van het product.
Het apparaat is van nature geschikt voor gebruik in een schoonruimte. Het verwarmingselement werkt zonder de vorming van deeltjes in een klasse 1–100 omgeving. De materialen die worden gebruikt, genereren nauwelijks uitstoot, zodat er geen vervuiling optreedt tijdens lange verwerkingsprocessen. Er worden geen deeltjes gegenereerd aan de randen van de wafer, waardoor er minder producten worden afgekeurd en er minder onderhoud nodig is. Hierdoor zijn de cyclustijden stabiel, wordt er minder energie verbruikt per wafer en blijven de eigenschappen van het laagje consistent tussen verschillende batches.
De installatie is eenvoudig op de meeste spuitplatforms. Echter, door de compacte grootte van het apparaat, moet er rekening worden gehouden met de ruimte rondom de beschermende elementen en bevestigingspunten. Plan de integratie goed van tevoren: past de montageinterface goed en controleer de optische parameters alvorens je overgaat op een nieuwe productielijn. Eenmaal geïnstalleerd, werkt het apparaat 24/7 met minimale afwijkingen. De reproduceerbaarheid die op de specificaties staat, is ook daadwerkelijk waarneembaar in de productie, zodat de kwaliteit van het product consistent blijft tussen verschillende batches.