Het voorkomen van dit nachtmerrie-situatie waarbij de lampen in de fabrieken kapotgaan Als je ooit in een fabriek met hoge belasting hebt gewerkt, weet je dat het een echte nachtmerrie is wanneer een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand van de machine, maar ook om alle schoonmaakwerkzaamheden die nodig zijn. Stel je voor dat er glasscherven en halogeengas recht op je wafer’s terechtkomen. Eén kapotte lamp betekent dat al je producten verloren zijn. Daarom besteden we veel aandacht aan de manier waarop we onze infraroodlampen maken. We willen zekerstellen dat dit nooit met jou gebeurt. Waarom gaan ze eigenlijk kapot? Meestal komt het door thermische schokken of door lokale oververhittingen. Het is net alsof je koud water over een hete pan giet: dan barsten de materialen. Om dit te voorkomen, gebruiken we hoogzuiver gefuseerd kwarts. Dit materiaal kan de druk van snelle stroomwisselingen weerstaan zonder te breken. We passen ook de filamenten aan, zodat de warmte gelijkmatig wordt verspreid. Zonder lokale oververhittingen zal de kwartswand niet beschadigen of zwakker worden na verloop van tijd. Het voorkomen van vuil Maar laten we eerlijk zijn: ongelukken gebeuren. Daarom hebben we nog een extra laag bescherming toegevoegd. Eerst behandelen we het kwarts zodat het niet wordt aangetast door de chemische gassen in de zuiverruimte. Daarna gebruiken we een beschermingslaag. Als een lamp toch kapotgaat, vangt deze laag alles op. Er zal geen enkel stukje glas op je wafer’s terechtkomen. Dat is echt een grote opluchting. Het evenwicht tussen vermogen en hitte Iedereen wil dat de lampen sneller werken, wat betekent dat er meer vermogen nodig is. En dat doen we ook. Maar er is een nadeel: als je het vermogen verhoogt, wordt de koelingsconstructie zwaarder belast. Als de luchtcirculatie niet goed is, kunnen de uiteinden van de lamp oververhit raken, waardoor de afdichtingen niet meer werken. Het is een compromis. Je moet ervoor zorgen dat je machine in staat is om de hitte die wordt gegenereerd, af te voeren. Om dit te helpen, gebruiken we versterkte eindkapjes. Deze blijven stevig zitten, ongeacht of er vacuüm of hoge druk is. Zo hoef je je geen zorgen te maken over gaslekken die je omgeving kunnen beschadigen. Een laatste tip: gebruik een precisie-PID-regelaar. Hierdoor worden die willekeurige spanningsschommelingen voorkomen, waardoor de filamenten niet kunnen breken.