Hentikan cara memanaskan mesin dengan cara biasa: Cara yang lebih baik untuk memanaskan wafer Inilah masalah yang dihadapi dalam proses pemprosesan semikonduktor: kita perlu memanaskan wafer tersebut, tetapi kita tidak mahu mesin-mesin mahal yang digunakan terbakar akibat haba yang berlebihan. Kebanyakan pemanas biasa akan mengeluarkan haba ke semua arah. Ini menyebabkan masalah besar; haba yang terhasil akan meresap ke dinding ruang pemprosesan, sehingga menyebabkan peralatan menjadi terlalu panas untuk disentuh. Lebih buruk lagi, ia boleh merosakkan komponen-komponen sensitif yang ada di dalamnya. Ini bukanlah cara yang baik. Cara memanaskan secara terarah Kita gunakan lampu inframerah berpanjang gelombang pendek untuk menyelesaikan masalah ini. Daripada mengeluarkan haba ke semua arah, lampu ini akan mengarahkan tenaga tersebut terus ke wafer. Kita mencapai ini dengan menggunakan reflektor khusus serta lapisan pelindung pada bahagian luar lampu tersebut. Dengan cara ini, tenaga akan sampai ke sasaran dan tidak akan merebak ke bahagian lain. Ini dapat mengelakkan haba daripada merosakkan peralatan. Menentukan jarak yang sesuai Anda tidak boleh meletakkan lampu inframerah terlalu dekat dengan wafer. Jika begitu, haba akan tertumpu di satu tempat sahaja, atau dalam kes yang paling teruk, permukaan wafer akan terbakar. Jarak antara lampu dan wafer sangat penting. Jika lampu terlalu dekat, haba yang dihasilkan tidak akan sekata. Jika terlalu jauh pula, tenaga akan dibazirkan untuk memanaskan udara di sekeliling wafer. Kita perlu mencari keseimbangan antara kelajuan peningkatan suhu dan keseragaman haba yang dihasilkan. Kesan negatif Tidak ada yang percuma. Walaupun cara memanaskan secara terarah dapat melindungi dinding ruang pemprosesan, ia akan memberi tekanan yang lebih tinggi pada filamen lampu tersebut. Oleh kerana tenaga yang dihasilkan sangat tertumpu, lampu tersebut akan menjadi sangat panas. Anda perlu berhati-hati dengan kabel yang digunakan. Pastikan kabel tersebut mampu menanggung arus yang digunakan, jika tidak, kabel tersebut akan rosak. Selain itu, pastikan kipas penyejuk berfungsi dengan baik. Jika kipas tersebut berhenti berfungsi, haba yang terhasil akan merosakkan lampu tersebut dengan cepat.