Di lantai litografi, pembakaran photoresist bukan sekadar langkah terma—ia juga langkah dimensi. Perubahan 1°C dalam soft bake akan kelihatan dalam kawalan dimensi kritikal dan profil dinding sisi. Kami membina lampu inframerah untuk photoresist berdasarkan realiti itu, dengan sasaran keseragaman terma di peringkat wafer ±0.1°C dan profil pembakaran yang berulang merentas keseluruhan lot.
Apa yang penting, dari segi teknikal
Kami menggunakan inframerah gelombang pendek dengan pemancar tindak balas cepat untuk menyampaikan haba yang pantas dan bersih. Sistem mengekalkan setpoint dengan ketat semasa soft bake dan hard bake, menggunakan kawalan gelung tertutup yang mengimbangi penuaan lampu dan turun naik voltan baris. Reka bentuknya serasi dengan bilik bersih Kelas 1–100, menggunakan bahan dan meterai yang mengurangkan penghasilan zarah. Dalam pengeluaran, ini bermakna kurang kecacatan, hasil yang stabil, dan prestasi photoresist yang kekal konsisten dari wafer pertama hingga terakhir.
Mengapa ini berfungsi di lantai pengeluaran
Pengeringan wafer, pra-pembakaran photoresist, dan pembakaran pasca-pendedahan mempunyai keperluan yang sama: mengawal bajet terma tanpa menambah pencemaran. Pendekatan inframerah kami memanaskan hanya sasaran, jadi anda tidak membebankan perkakasan sekeliling, dan anda mengurangkan penggunaan tenaga. Hasilnya adalah masa kitaran yang lebih singkat, tingkap proses yang stabil, dan pemanasan pandangan sebaris yang boleh diramal yang selaras dengan node maju. Anda mendapat kebolehulangan yang boleh didokumentasikan untuk audit, dan masa operasi yang boleh dirancang dengan tepat.
Beberapa nota praktikal
Prestasi pembakaran inframerah bergantung pada padanan spektrum lampu dan ketumpatan kuasa dengan lapisan resist dan saiz wafer. Jangkaan tempoh pengujian singkat untuk melaras keupayaan emisif, kelajuan imbasan, dan profil suhu bagi setiap resipi. Selain itu, lampu perlu diintegrasi dengan pengawal sedia ada atau antara muka SECS/GEM—rancang satu petang untuk penyelarasan elektrik dan komunikasi supaya tiada perubahan selepas permulaan operasi.