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고부하 적외선 경화 램프의 안전 설계를 통한 웨이퍼 오염 방지

고부하 적외선 경화 램프의 안전 설계를 통한 웨이퍼 오염 방지

와이퍼 제조 공장에서 발생하는 램프 파손 문제를 막는 방법 고부하가 요구되는 제조 환경에서 일해본 사람이라면, 램프가 파손될 때 얼마나 큰 문제가 되는지 잘 알 것입니다. 단순히 생산 중단뿐만 아니라, 그 후의 청소 작업도 엄청난 부담입니다. 유리 조각과 할로겐 가스...
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