왜 우리는 생체센서 제조 공정에서 대류식 오븐 대신 적외선 램프를 사용하는가? 반도체 청정실에서 일해본 사람이라면 대류식 오븐의 단점을 잘 알 것입니다. 속도가 매우 느리고, 크기도 커서 공간을 많이 차지합니다. 게다가, 아주 작은 센서를 가열하기 위해 엄청난 양의 공기를 가열하는 것은 시간과 전력의 낭비라고 할 수 있습니다. 그래서 우리는 특수한 적외선 램프 시스템으로 전환했습니다. 열을 정확하게 원하는 곳에 전달하기 단파 적외선의 장점은 공기에 영향을 주지 않는다는 점입니다. 즉, 직접 기판에 열을 전달합니다. 오븐이 따뜻해지기까지 몇 분을 기다릴 필요 없이, 단 몇 초 만에 처리가 가능합니다. 속도 면에서는 엄청난 차이가 있습니다. 유기층들이 완벽하게 결합하기 위해서는 높은 에너지 밀도가 필요하지만, 동시에 실리콘 기판이 손상되지 않도록 주의해야 합니다. 재료의 중요성 우리는 특정 코팅 처리가 된 석영관을 사용하여 빛의 스펙트럼을 조절합니다. 왜냐하면 자외선은 생물학적 시약의 적이기 때문입니다. 그러한 파장의 빛이 통과하면, 실험 시작 전에 샘플이 손상될 수 있습니다. 또한 석영의 순도도 매우 높아야 하며, 진공 상태에서 이상한 기체가 발생하지 않도록 해야 합니다. 주의할 점은, 램프를 최대 출력으로 사용하면 석영이 약해질 수 있다는 것입니다. 그래서 갑작스러운 고장을 방지하기 위해 교체 주기를 철저히 관리해야 합니다. 전력 비용과 환경에 좋은 점 적외선 램프를 사용하면 공장의 에너지 소비가 줄어듭니다. 대류식 오븐은 사실상 거대한 냉각기 역할을 하여 청정실 내부로 열이 유출됩니다. 이로 인해 공기조화 시스템이 더 열심히 작동해야 합니다. 오븐을 사용하지 않으면 이러한 추가적인 에너지 소비를 줄일 수 있습니다. 게다가, 장비의 크기도 훨씬 작아집니다. 하지만 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 램프와 웨이퍼 사이의 거리를 정확하게 조절해야 합니다. 램프가 웨이퍼에 너무 가까우면 과열 현상이 발생하여 전체 제품군이 버려질 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 폐쇄 루프형 온도계를 사용하여 온도를 지속적으로 모니터링합니다.