화학 용액에 웨이퍼를 담가서 가열할 때 안전을 유지하는 방법
솔직히 말해서, 휘발성이 있고 인화성이 강한 용매에 웨이퍼를 담가두고 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 조금만 불꽃이 튀거나 가열 요소에 문제가 생기면, 기계가 고장날 뿐만 아니라 폭발까지 일어날 수 있습니다.
그래서 우리는 IR 가열 램프를 밀봉할 때 절대로 위험을 감수하지 않습니다.
실제로 어떻게 밀봉하는가?
우리는 단순히 램프를 포장해두는 것으로는 안 됩니다. 전기 부품들이 주변의 공기와 완전히 분리되도록 밀폐 처리를 합니다. 석영 커버를 화학물질에 강한 플랜지에 직접 접합시킵니다. 왜냐하면 부식성 증기들이 램프 내부로 스며들어 전선을 손상시키거나 단락을 일으킬 수 있기 때문입니다.
또한, 습기와 가스를 차단하기 위해 특수한 접착제를 사용합니다. 강한 용매를 사용할 경우, 이러한 밀봉 처리가 하드웨어가 몇 주 만에 파손되는 것을 막는 유일한 방법입니다.
적절한 온도를 유지하기
여기서는 정확도가 매우 중요합니다. 적절한 온도 범위를 유지해야만 문제가 없습니다.
우리의 램프는 단파 복사를 사용합니다. 이 방식을 통해 열이 웨이퍼 표면에만 균등하게 전달되고, 나머지 화학 용액은 과열되지 않습니다.
또한, 와트수도 신중하게 조절됩니다. ‘열점’이 생기면 세정제의 화학 반응에 문제가 생길 수 있습니다. 참고로, 고출력 IR 방출 시 램프 외부가 뜨거워질 수 있으므로, 냉각 팬이나 히트 싱크가 제대로 작동하여 외부 온도가 화학물질의 발화점보다 낮도록 해야 합니다.
실제 사용 시의 신뢰성
이 램프들은 기존의 가열 장치를 대체할 수 있도록 설계되었습니다.
가장 좋은 점은, 안전 기능이 램프의 물리적 구조 자체에 내장되어 있어서, 크고 무거운 방폭 장치가 필요하지 않다는 것입니다. 그 결과, 공간을 덜 차지하고 유지보수도 훨씬 빨라집니다.
우리는 이러한 램프들이 산성 환경에서도 잘 작동하는 것을 확인했습니다. 항상 일관된 와트수를 유지하며 안정적으로 작동합니다.