“고온 문제”와의 싸움을 그만두세요.
반도체 제조 공정에서 난방 시스템을 설계해본 적이 있다면, 그 고통이 얼마나 큰지 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 원하는 온도까지 데우는 것은 사실 그리 어렵지 않습니다. 진짜 문제는 기계의 나머지 부분들도 함께 과열되는 것을 막는 것입니다.
일반적인 대류식 히터들은 열을 사방으로 퍼뜨립니다. 그 결과, 값비싼 내부 벽면들이 손상되고, 작업자들은 화상을 입을 위험에 처하며, 민감한 전자 부품들도 과열로 인해 손상됩니다. 정말 엉망진창이죠.
저희는 이 문제를 이렇게 해결합니다.
저희는 단파 적외선 램프를 사용합니다. 마치 손전등과 비슷하지만, 열을 발생시킨다는 점이 다릅니다. 적외선은 챔버 내의 공기 전체를 따뜻하게 만드는 대신, 에너지를 목표물에 직접 전달합니다.
반사판과 램프의 형태를 조절함으로써, 그 에너지를 좁은 범위로 집중시킬 수 있습니다. 그렇게 하면 열이 작업물에만 가해지고, 챔버의 벽면들은 그 영향을 받지 않습니다. 아주 간단합니다.
올바른 열 관리가 중요합니다.
클린룸에서 작업할 때는 속도가 가장 중요합니다. 단파 적외선은 장파 적외선보다 훨씬 빠르게 반응하기 때문에 매우 유용합니다. 몇 초 만에 온도를 올릴 수 있습니다.
하지만 주의해야 합니다. 고밀도 적외선 배열은 작은 공간에 엄청난 양의 에너지를 전달합니다. 만약 목표물의 열 용량이 충분하지 않다면, 원하는 온도를 넘어서버릴 수 있습니다. 그러므로 정확한 PID 제어와 빠르게 반응하는 온도 센서가 필요합니다.
실용적인 측면도 고려해야 합니다.
가장 좋은 점은, 바닥 공간을 차지하는 크고 무거운 단열재를 사용할 필요가 없다는 것입니다. 그렇게 하면 기계의 본체를 안전하게 만들 수 있으며, 전체 크기도 줄어듭니다.
유지보수도 아주 쉽습니다. 램프가 고장 나면 그냥 교체하면 됩니다. 단, 커넥터가 제대로 연결되어 있는지 확인해야 합니다. 고전압 환경에서는 아크가 발생하는 것을 방지해야 하기 때문입니다.