半導体装置のケース過熱を防ぐためのゴールドリフレクター式赤外線ランプの利用

熱の無駄遣いを止めよう：ゴールド反射板の魔法 ほとんどの赤外線ランプは、実質的には「熱の爆弾」のようなものです。エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。狭い半導体製造装置の中で作業する場合、これは大変な問題です。 結果として、「高温の壁」ができてしまい、内部の部品が損傷したり、最悪の場合は機...