Nelle linee di produzione, le fluttuazioni termiche non rappresentano semplicemente delle deviazioni dal valore ideale: rappresentano invece un fattore che compromette la qualità del prodotto finito. Una camera di deposizione che si allontana anche di poco dal valore desiderato provoca tensioni nel film depositato e non uniformità nella sua spessore; ciò influisce negativamente sulle fasi di litografia ed erosione. Per eliminare queste incertezze, abbiamo progettato dei riscaldatori a infrarossi in grado di mantenere la stabilità durante il processo di deposizione, proprio sulla superficie del wafer.
Il design basato su onde infrarosse a breve lunghezza assicura una distribuzione rapida e diretta del calore sul wafer, mantenendo l’uniformità della temperatura entro valori di ±0,1°C. La geometria del radiatore in quarzo e il sistema di controllo a circuito chiuso permettono di mantenere sotto controllo i valori termici, evitando così eccedenze di spessore del film depositato. Nel processo di trattamento con fotoreattivo, lo stesso sistema a infrarossi garantisce una rimozione uniforme del solvente durante la fase di preriscaldamento, oltre a un preriscaldamento efficace e uniforme del wafer. In questo modo si riducono i problemi legati all’accumulo di impurità, che altrimenti potrebbero causare errori nella misurazione dello spessore del film.
Il sistema è progettato per funzionare in ambienti puliti: il corpo del riscaldatore funziona senza generare particelle, sia negli ambienti di classe 1-100, sia durante i lunghi cicli di deposizione. I materiali utilizzati presentano bassa emissione di gas, il che previene eventuali contaminazioni. L’assenza di particelle lungo i bordi del wafer significa meno prodotti difettosi e minori necessità di manutenzione. Inoltre, i tempi di ciclo rimangono stabili, l’energia necessaria per la deposizione diminuisce, e le proprietà del film depositato rimangono costanti da un lotto all’altro.
L’installazione è semplice sulla maggior parte delle piattaforme di deposizione, ma le dimensioni compatte del sistema richiedono una pianificazione attenta per garantire spazi sufficienti intorno ai dispositivi di protezione e agli elementi fissativi. È quindi importante pianificare l’integrazione del sistema in anticipo, verificando l’adeguatezza degli interfacci di montaggio e garantendo che vi sia abbastanza spazio per il passaggio della luce. Una volta installato, il sistema funziona 24/7 con minime fluttuazioni termiche. La ripetibilità del sistema è evidente nelle misurazioni effettuate, e le prestazioni rimangono costanti da un lotto all’altro.